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兆晟SuperSizer 揪出奈米殺手粒子
過去幾十年,半導體技術快速發展,7奈米製程技術為目前高階技術的主流,5奈米技術也預計今年中實現,兩年後更可能進步到3奈米。
半導體越做越小,製程也越來越複雜,產業面臨到很多以前不存在的嚴峻挑戰,嚴重影響良率;如:在製程中矽晶圓經過多種高純度、高潔淨度的化學藥水處理,藥水內的奈米粒子不純物,原本不影響製程良率,現在因為元件持續縮小,這些奈米粒子已變成造成良率損耗的「殺手粒子」,但業界還沒有良好的改善對策。
兆晟奈米科技總經理吳伯仁表示,這個議題可以想像如同患有深度近視的駕駛,未戴眼鏡馳騁於馬路上的危險場景,無法完全避免意外的良率損失發生。目前業界主要的粒子監控技術是利用雷射光直接照射製程溶液,透過光束於粒子散射訊號進行粒子大小與數量的量測;此種量測方式的原理及機構較簡單,但是實際上,奈米粒子範圍已面臨無法突破的物理極限。現有量測技術在數量量測上,會受到液體流動時產生的奈米氣泡干擾,容易造成計數的不準確。粒子大小量測方面,設備雖號稱可量到20奈米,實際上因光學訊號過低,只勉強可量到40奈米,完全不敷先進製程所需。

兆晟奈米科技由量測儀器大廠致茂電子與工研院量測發展中心共同成立,該中心在奈米粒子監控有突破性進展,兆晟則在2018年進駐新竹科學園區。吳伯仁表示,兆晟提供半導體廠一副「如鷹眼般的眼鏡」,以前製程液態環境中無法看到的的奈米殺手粒子,可以清楚看到,可以在晶圓未受到殺手粒子傷害前,預先採取適當的防治措施,避免良率損耗。
能有這樣的「鷹眼」,半導體廠在先進製程的良率改善將如虎添翼。經多年研發,兆晟團隊突破量測的限制,開發出創新的SuperSizer奈米粒子量測技術,完全不受奈米氣泡的干擾,並大幅改善小粒子的偵測效率,可以精準量測3奈米以上的粒子大小及數量分布。初步與國際半導體大廠合作,得到良好的成效。

兆晟團隊承接量測中心在奈米粒子監控的突破性技術,以及致茂電子30多年來專注於量測儀器研發、製造與在半導體產業的應用經驗,將持續提供新一代精準、可靠的SuperSizer「化學溶液中奈米粒子監測系統」,協助半導體製造廠及供應鏈改善先進製程的製程良率。同時也將此精準的奈米粒子監控技術,推廣到光電、食品及製藥業等領域。

創業超新星/兆晟奈米科技 -SuperSizer超越微粒檢測極限

台灣自70年代引進半導體技術後,一步一腳印匯聚了完整的產業供應鏈,直至2014年台灣半導體產業產值首次突破新台幣2兆元,對台灣GDP的直接貢獻度更是高達8%,根據工研院IEK Consulting預估,2025年半導體產值將突破4兆元里程碑,堪稱台灣經濟的重要支柱。

如今半導體製程已正式進入3奈米的競賽,面對美、韓、中晶片業者步步進逼,政府「5+2產業創新計畫」中的「晶片設計與半導體產業推動方案」積極協助台灣鞏固競爭優勢,支持業者持續追求前瞻製程,透過半導體設備的自主化,提升產品良率,也成了市場競爭之中的勝負關鍵。

從工研院出發 讓研究走入產業

成功突破量測瓶頸的「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」,是兆晟奈米技術長何信佳的驕傲,也是他在奈米研究領域的長年積累。

一切要從何信佳加入工研院時說起,「當時有很大一部分的工作在致力於制定全國標準,同時也把量測技術運用在協助台灣產業進展上,」何信佳回憶,9年前第二期奈米國家型科技計畫正式啟動,他也參與其中,一路跟著台灣奈米科技萌芽成長,由於接觸得早,累積不少豐富經驗,為日後研發SuperSizer技術奠定了深厚的基石。

「晶片的趨勢是愈做愈小,在半導體IC的濕式製程中,需要使用特定的化學溶液清洗、研磨以及蝕刻晶圓表面,一旦溶液裡混雜著原子級的小雜質,易刮傷電路線,影響晶圓良率,」何信佳進一步說明,過去業界在面臨溶液中摻有雜質而影響品質的問題時,解決方式都是將整組溶液濾心汰換掉,不僅耗費成本,更是治標不治本的消極因應。

當年市面上的量測技術仰賴光學原理,僅能測量至20奈米,但量測到個位數奈米,已是很明確的趨勢,若能提前找出檢測的方法,判斷溶液中奈米粒子的尺寸、分布與數量,無疑是拿到半導體先進製程高良率的入場卷。這時剛好有想改良製程的半導體企業找上門,透過何信佳與研發團隊不斷的嘗試與突破,SuperSizer於焉誕生。

有別於傳統量測只能達到20奈米的極限,SuperSizer採用嶄新的量測方式,先將溶液氣霧化,再搭配電壓變化影響奈米級粒子的移動,並再次凝結氣霧化的奈米粒子,如此一來就能精準量測到溶液中粒子的粒徑大小與分布,甚至解決微奈米氣泡影響偵測信號的問題。

實驗室中一次次令團隊歡呼的突破,實際搬到產線上,仍有各式各樣的問題需要解決,何信佳抽絲剝繭,揪出問題各個擊破,2年之後終於做到讓客戶點頭。

「學術上能用的東西,到了『現場』,無論是量測的物品、環境以及使用的情況,種種環境因素都會影響SuperSizer的靈敏度。」何信佳解釋,在實驗室中,他們所處的環境既單純又乾淨,所使用的檢測溶液也相對純粹,可到了產線上,不僅得面對複雜的環境,還須考量到多元的檢測物質,「可能是酸、可能是鹼,也可能是有機的,在更換不同溶液時,有些成分可能就會傷害甚至腐蝕模組,這是我們在實驗室中未曾想到的!」

除了材料相容性外,對於產線機台必須24小時不停運轉,檢測機台是否能做到長期穩定,何信佳與團隊秉持著「沒有最好,只有更好」的理念,逐一克服這些紛沓而至的挑戰。至今他們仍不間斷地修正細節,以精益求精的態度,為台灣半導體產業爭取產業贏面。

與儀器大廠結合 共創三贏

在SuperSizer漸臻完美之際,這支從工研院衍生的新創團隊,看見技術發展為商品的潛力,開始思考獨立創業的可能性。

「我們非常清楚,現在能解決的方案不多,既然掌握了這項技術,在這個領域也是做最久的,創業成功的機率其實很大。」何信佳也坦言,離開工研院後最大的難題就是龐大的資金需求,想要做到永續經營,他們首先要找到一個能長期合作發展的夥伴,因此他們找上了國內唯一擁有量測與自動化能量的儀器大廠「致茂電子」。

致茂電子橫跨電動車、半導體檢測領域,在半導體檢測上已掌握後段製程的成品檢測技術,若能與兆晟奈米結合,就能打下前端檢測應用的產業地位,創造出一條龍的競爭優勢。看準了「1+1大於2」的互惠效益,雙方在短短半年間就達成共識:由致茂注資,幫助兆晟奈米正式成軍,也加速SuperSizer邁向日趨穩定的商品化之路。

兆晟奈米總經理吳伯仁信心滿滿地表示,在相似的技術中,SuperSizer並非唯一,但那些大多在研究室內閉門造車,論及實地投入產業應用,達到連續24小時、365天線上監測研磨液、雙氧水以及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度,且量測範圍小至3奈米的成就,兆晟奈米的SuperSizer絕對是獨步全球!

透過SuperSizer的精準量測,半導體業者能從被動試誤,轉為主動控制管理,從根本上避免異常品的產生,甚至無須耗時費力的改變原有製程,就能有效提升製程良率。估計每提升0.1%良率,就可以增加淨利600萬美元,足證明對產業的貢獻非凡。

「我相信這項技術絕對會為台灣半導體產業加分,」吳伯仁分析,有了兆晟的獨門技術,可望解決持續微縮的半導體製程絕對會面臨的難題,有助於產業創新發展。而談起未來,吳伯仁也胸有成竹地表示,未來的市場潛力無窮,能創造的可能性絕對不僅於此,未來應用觸角還可以伸及光電、生醫以及製藥領域,幫助台灣多項產業在全球獨領風騷!

兆晟鷹眼級檢測 半導體缺陷無所遁形
新竹科學園區篤行路,曾是關東橋新兵訓練中心,多年前納入科學園區後,成為IC設計廠聚集的大本營,而在篤行路一棟看似普通的大樓之中,卻別有洞天,隱藏著讓半導體製程檢測技術突破的關鍵武器。
這家名為「兆晟奈米科技」的新創公司,成立於2017年,團隊來自工研院,雖然僅12個人,卻猶如「精兵部隊」,將搶攻半導體產業先進檢測的灘頭堡。
兆晟奈米擁有國家級度量衡科研能力,開發的設備專門用來檢測半導體前段製程使用溶液中之奈米微粒,手中握有的秘密武器,是技轉自工研院的「新世代溶液奈米粒子監測系統─SuperSizer」,能協助半導體在20奈米以下製程「看」清楚諸多超細微粒,藉此調整製程,改善與避免缺陷問題。解決半導體製程持續微縮面臨的難題之一,幫助產業創新發展。
「新世代溶液奈米粒子監測系統」從實驗室到發展成新創公司的核心技術,整整歷時5年時間,研發團隊的靈魂人物之一是兆晟技術長何信佳。
2012年,當時在工研院任職的何信佳,為改善檢測缺陷,著手研發這項技術。何信佳回憶,最早只是一個構想,當時醞釀三個月,希望能改變20奈米製程以下許多看不見的檢測缺陷,沒想到誤打誤撞,一路用了五年的時間讓技術更精進,期間並獲得2015年全球百大科技研發獎(R&D100 Awards)入圍的肯定。後來,更遇上貴人加持,在工研院前輩牽線下,讓技術產品的發展獲得足夠的經費支持,特別是工研院支持,在創業的最後一哩路幫了不少忙,2017年,何信佳和夥伴正式催生成立兆晟。
兆晟由何信佳率領研發團隊擔任技術長,並延攬在LED業界資歷豐富的吳伯仁擔任總經理,協助開拓市場。並獲得半導體設備大廠致茂電子的青睞參與投資,兆晟資本額從初期2,000萬元,提升至2.2億元,其中致茂出資三分之二,是最大單一股東,並由致茂電子董事長黃欽明兼任兆晟董事長。
兆晟令致茂青睞有加的關鍵因素是,「新世代溶液奈米微粒監控系統」技術發展,將有助半導體產業創新。它的原理是將化學溶液氣霧化,來量測化學溶液中的粒子粒徑及分布。這種新的量測手法,突破現行設備僅能偵測20奈米以上粒子的極限,將可量測粒子的範圍擴為3~1,000奈米,奈米微粒檢測升級,縮短生產品質管控的摸索時間。
兆晟總經理吳伯仁形容,就像百年前羅伯特.虎克(Robert Hooke)發明顯微鏡,讓大家得知細菌的存在,發現細菌後,就能讓醫生進一步從種類來判斷病徵。
兆晟獨家的技術就是這樣概念,提供客戶工具,將能夠突破過去20奈米以下看不見的情況、發現生產過程的癥結,進而對症下藥、改善生產品質。
對於「良率即競爭力」的半導體產業而言,這項突破無異是業者的一大福音。何信佳說,該系統也採用「氣膠粒子量測技術」,將化學溶液氣霧化後進行氣體粒子的量測,除能量測小到3奈米的微粒,這種方法還有一個好處,就是能避免將氣泡誤判為微粒,因為溶液霧化過程中氣泡會破裂,也解決傳統溶液監測會將微奈米氣泡影響混淆信號的問題。
兆晟掌握了檢測半導體製程中20奈米以下,甚至3奈米監控超細微粒技術,結合「電子界醫生」致茂科技在半導體後段製程檢測,延伸至前段檢測應用,產生一加一大於二的效益。

攜手電子界醫生 拚當下個漢微科
新創檢測公司兆晟奈米公司名稱大有來頭,是由致茂董事長黃欽明替公司定名,期盼該公司能與「電子界醫生」致茂產生一加一大於二的效益,在半導體前段製程的檢測發揮實力。
兆晟奈米獲工研院技轉後,掌握能檢測半導體製程中20奈米以下,甚至7奈米、3奈米監控超細微粒的技術,該團隊認為這項技術如同百年前虎克發明顯微鏡、讓醫生能分辨細菌種類,進而能讓客戶對症下藥,改善生產品質。甚至被工研院量測中心封為「下一個漢微科」。
據了解,該公司名稱是由黃欽明醞釀約一周親自敲定,並確定大舉投資,主要考量以往致茂在半導體檢測著重後段製程為主,兆晟奈米將延伸至前段檢測應用的產業地位,雙方能發揮一加一大於二效益。
由於過往半導體製程20奈米以下的超細微粒監控屬於空白地帶,大廠主要靠經驗法則判斷,在盲目狀態之下,09-38826-852張r,透過舊的方式來找問題,一旦運用兆晟奈米技術,將能突破瞎子摸象的瓶頸,不過,半導體製程對全新的工具,也需要一段重新學習的時間。
兆晟奈米總經理吳伯仁舉例,就像新推出LED燈不錯,但對市場既有還在使用普通鎢絲燈的用戶,如何說服汰換,就是一門學問,畢竟全新的東西,在沒有歷史數據可以證實情況下,需要一段時間推廣。
兆晟奈米技術長何信佳說,過往半導體廠採用經驗法則判斷,累積大量數據,如今採用新的檢測技術、全新工具產生新的數據,也需要與舊數據進一步比對結合,半導體製程也將能因此創新。

兆晟奈米裝上鷹眼 幫半導體製程大體檢
為了替台灣尋找經濟新動能,經濟日報推出「創業超新星」系列專題報導,本系列介紹台灣最具創新能力的新秀,報導這些新創公司的優勢及潛力,讓其價值被外界看見,獲得更多資源挹注,成為未來台灣經濟發展的中流砥柱。
新創檢測公司兆晟奈米成立不到一年時間,就成為市場話題,兆晟奈米是隸屬致茂集團旗下公司,被工研院量測中心封為「下一個漢微科」,09-38826-852張r,而公司團隊也「比漢微科更漢微科」,目標在既有「新世代溶液中奈米微粒監控系統-SuperSizer」技術發展商用下,由奈米微粒檢測升級,縮短生產品質管控的摸索時間,並助半導體產業創新。
新竹篤行營區是IC設計廠的大本營,而在篤行營區A廠角落看似普通的大樓之中,卻別有洞天。這家兆晟奈米科技的台灣新創公司,團隊僅12人,卻被賦予半導體先進製程在檢測技術突破的一項重任。
兆晟奈米團隊設立初期資本額僅2,000萬元,是工研院量測中心的衍生新創團隊,隨後獲得致茂青睞並注資,資本額提升至約2億元,其中致茂出資三分之二,是最大單一股東,由致茂電子董事長黃欽明兼任董座。
兆晟奈米擁有國家級度量衡科研能力,開發設備專用於檢測半導體前段製程使用溶液中之奈米微粒,目標精密等級滿足最新半導體製程需求,兆晟奈米科技技術長何信佳率領研發團隊,也延攬在LED業界資歷豐富的吳伯仁擔任總經理,協助市場開拓。
兆晟奈米雖創立不滿一年,但有出自工研院的特質、團隊都已設立長期發展目標,在獲得工研院技轉「新世代溶液奈米粒子監測系統」,加上致茂集團加持,工研院量測中心主任林增耀期許兆晟成為「下一個漢微科。」
回顧公司創業歷程,何信佳直言,本來最早是一個構想,當時醞釀三個月,希望能改變20奈米製程以下許多看不見的檢測缺陷,沒想到誤打誤撞,五年以來發展的愈來愈快,加上有貴人加持,才在去年和夥伴一起創業,正式催生新公司。
兆晟奈米創立初期遭遇到不少困難,但何信佳指出,在工研院前輩牽線下,讓技術產品的發展獲得足夠的經費支持,特別是工研院副院長劉軍廷的支持,讓兆晟順利創設,在最後一哩路幫了不少忙,現在則是進入市場開展成長階段。
如同狄更斯《雙城記》提到「那是最好的時代,也是最壞的時代」;兆晟總經理吳伯仁說,創業真的要有勇氣,現在創業是最壞的時代,也是最好的時代,只要公司獨到技術面掌握後,就是市場推廣的奮力一搏。
由於已逐步打開市場,兆晟團隊訂出成長策略,成立第一年,最保守預估就算沒損平,也至少要能擴大客戶群目標,當前情況雖沒想像中樂觀,但是團隊認為,萬事起頭難,只要度過考驗,就有望在二、三年內挑戰損平,比漢微科當年草創期曾連虧12年的情況更快。
兆晟也配合主要策略夥伴設定開拓國際市場方向,未來不排除有增資計畫,但前提是希望先賺錢。兆晟製造部經理林彥良提到,兆晟其實是比漢微科更漢微科的策略發展,在完全本土化團隊結合國際市場合作開發,成長空間相對更大。
兆晟發展關鍵是工研院技轉「新世代溶液奈米粒子監測系統」,何信佳說,該系統能協助半導體在20奈米以下製程「看清楚」諸多超細微粒,運用該系統建測技術檢測能看清楚粒子,調整製程,也能改善與避免缺陷問題。
依據介紹,新世代溶液中奈米微粒監控系統的原理,是將化學溶液氣霧化,來量測化學溶液中的粒子粒徑及分布。此種量測手法,突破現行設備僅能偵測40奈米以上粒子的極限,可量測粒子的範圍擴為3至1,000奈米,可望解決半導體製程持續微縮面臨的難題之一,有助產業創新發展。

公司簡介
「兆晟奈米科技」由國際級致茂集團支持工研院技術團隊而新創。團隊擁有國家級度量衡科研能力,開發之產品專用於檢測半導體前段製程使用溶液中之奈米微粒,精密等級滿足最新半導體製程需求,無替代性產品可匹敵。
2015年入選R&D100全球百大科技,2017年機台獲最大半導體終端用戶驗證通過。
「兆晟奈米科技」結合工研院前瞻技術提高競爭障礙,利用致茂集團全球管道布局拓商,矢志成為全球半導體前段製程設備利基市場中的小金雞。

公司基本資料

統一編號 69694293 
公司狀況 核准設立
股權狀況 僑外資
公司名稱 兆晟奈米科技股份有限公司 (出進口廠商英文名稱:INNOVATIVE NANOTECH INCORPORATED) 
章程所訂外文公司名稱  
公司屬性 閉鎖性
資本總額(元) 220,000,000
實收資本額(元) 211,640,000
技術出資:1950000股
勞務出資:2000000股
每股金額(元) 10
已發行股份總數(股) 21,164,000
代表人姓名 黃欽明
公司所在地 新竹科學園區新竹市篤行路6-2號5樓
登記機關 科技部新竹科學園區管理局
核准設立日期 106年08月09日
最後核准變更日期 110年04月23日
複數表決權特別股
對於特定事項具否決權特別股
特別股股東被選為董事、監察人之禁止或限制或當選一定名額之權利      無
所營事業資料 CB01010  機械設備製造業
CC01080  電子零組件製造業
CE01010  一般儀器製造業
EZ05010  儀器、儀表安裝工程業
F401010  國際貿易業
I301010  資訊軟體服務業
I301030  電子資訊供應服務業
I501010  產品設計業
IF04010  非破壞檢測業
J101050  環境檢測服務業
  研究、設計、開發、製造及銷售:
  奈米粒子監測設備
 

董監事持股

序號 職稱 姓名 所代表法人 持有股份數(股)
0001 董事長 黃欽明 致茂電子股份有限公司 14,214,000
0002 董事 曾一士 致茂電子股份有限公司 14,214,000
0003 董事 韓宗憲 創新工業技術移轉股份有限公司 1,000,000
0004 監察人 黃秀妙   100,000
 

 

 

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兆晟奈米科技是未上市股票不能在集中市場交易,所以無法透過證券商系統進行買賣,也因為證交法規定,不能委託他人買賣,所以想要買賣都是透過私人間直接交易,只要雙方協議好價位,就可以約定辦理過戶事宜,想要買賣都可以直接與我聯繫,我們雙方討論好價格,就可以進行交易。

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